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ALPAO高速變形鏡
 
   
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ALPAO高速變形鏡

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用于各種自适應光學系統之中,主要用于校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控制器,在外加電壓控制下,變形鏡的鏡面可以産生需要的形變量,從而對波前像差進行調制。變形鏡是自适應光學系統中的重要部件之一

  • 貨  号:G5A0A980A7975E
  • 品  牌:ALPAO
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  (庫存9999+)

ALPAO高速變形鏡

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用于各種自适應光學系統之中,主要用于校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控制器,在外加電壓控制下,變形鏡的鏡面可以産生需要的形變量,從而對波前像差進行調制。變形鏡是自适應光學系統中的重要部件之一。
    ALPAO是從法國JosephFourier大學獨立出來的公司,主要開發電磁場驅動的MEMS驅動器,最高到820 個驅動器,行程達80µm,表面質量<7nmRMS,采用目前世界上最先進的抛光工藝,表面粗糙度<1nm,變形鏡的響應時間隻有500us,帶寬可以達到2KHz。

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調制量大低磁滞性<1%,高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優點在于其巨大的變形量,更高的調制精度。

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主要特點:

 

  • 調制量大:波前相位調制幅度超過80μm                   

  • 穩定度高:+/-1% over 30s,<10nm RMS over hours

·         高動态範圍 :響應時間小于500μs                        

·         鍍膜質量高: R>97% @500nm- 2.0µm

  • 表面平整:表面粗糙度 <15Å RMS

  • 亞納米步長精度

  • 低磁滞:磁滞誤差小于1%              

  • 單通道相位調制幅度>5.0 µm PTV

法國ALPAO高速變形鏡主要型号相關參數如下:

型  号

參   數

DM69

DM88

DM97-08

DM97-15

DM241

DM277

DM468

DM820

單通道口徑

1.5mm

2.5mm

0.8mm

1.5mm

2.5mm

1.5mm

通道數

69

88

97

97

241

277

468

820

孔徑

10.5mm

20.0mm

7.2mm

13.5mm

37.5mm

24.5mm

33.0mm

45.0mm

閉環系統鏡面平整度

7.0nm RMS (no print   through effects)

最大形變量(PTV)

60µm

40µm

80µm

60µm

40µm

15µm

聚焦/散光形變量(PTV)

40µm

30µm

40µm

40µm

30µm

10µm

3x3最大形變量(PTV)

>25µm

>10µm

響應時間(+/-10%)

800μs

1.6ms

800μs

1.6ms

500μs

帶寬

>750HZ

>400HZ

>750HZ

>400HZ

>2000HZ

45°相位延遲頻率

> 500 Hz

> 300 Hz

> 500 Hz

> 300 Hz

> 1500 Hz

回程誤差

<2%

非線性誤差

<3%

塗層

保護銀(或其他高反射率塗層)

操作溫度

-10~35

 

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